SEMI F77：应用于超高纯不锈钢的临界点蚀温度 CPT 测试标准

（1）标准号： SEMI F77
（2）标准名称： 用于腐蚀性气体系统的不锈钢表面的电化学临界点蚀温度测试的测试方法
（3）测试目的： 评估半导体制造中腐蚀性气体分配系统部件（如管道、阀门）的润湿表面的相对抗点蚀能力
（4）适用对象： 管道润湿表面或拟用于腐蚀性气体系统的代表性成品表面的测试试样
（5）相关联标准： 本标准改编自 ASTM G150，专为半导体行业定制
（6）主要应用行业： 半导体行业

意义：

在半导体制造过程中，设备部件（如气瓶、管道、阀门等）表面可能长期暴露在腐蚀性气体或湿气中，易发生点蚀从而导致失效。 SEMI F77 标准通过量化手段测定不锈钢在腐蚀性气体环境中的临界点蚀温度（CPT），为半导体及相关行业提供了材料耐蚀性能评判依据，并支持材料筛选与质量控制。
我们实验室具备完整的 SEMI F77 测试设备与流程，已成功测定十余种不锈钢（如超纯不锈钢 316LVV）的 CPT，覆盖机械抛光、电抛光的管件、阀件、焊接件等典型部件材料。封样技术可有效抑制缝隙腐蚀干扰，显著提升 CPT 测量准确性与重复性，助力企业材料选型与质控。