SEMI F120：应用于超高纯不锈钢的临界点蚀电位 CPV 测试标准

（1）标准号： SEMI F120
（2）标准名称： 半导体设备用超高纯不锈钢的临界点蚀电位（CPV）测试标准
（3）测试目的： 评估半导体制造中，服役环境下超高纯不锈钢部件的相对抗点蚀能力
（4）适用对象： 用于半导体制造设备如工艺腔体管道、阀件的超高纯不锈钢
（5）相关联标准： 本标准与 ASTM G5-14 中的部分内容相近
（6）主要应用行业： 半导体行业

意义：

在半导体工业中，设备制造商和材料供应商常使用 SEMI F120 标准来筛选和验证超高纯不锈钢管件、阀件、焊接件等是否能承受复杂的苛刻环境（如含卤素介质、酸性条件以及气-电-化学多场耦合环境），以确保其长期运行的可靠性。
关于此标准，我们具备完整的测试设备和测试流程。结合 CPT 测试，实验室已完成十余种不锈钢（包括超纯不锈钢 316LVV）点蚀电位的准确测量，涵盖机械抛光与电抛光的管件、阀件、焊接件等典型部件。通过 SEMI F120 的 CPV 测试，可量化不同材料及工艺（如焊接、电抛光）处理后的抗点蚀能力差异，为关键部件选材提供直接依据。