SEMI F20：应用于半导体设备用高纯及超高纯316L不锈钢原材料的质量评价标准
（1）标准号： SEMI F20-0923
（2）标准名称：
半导体通用、高纯及超高纯系统部件用316L不锈钢原材料技术规范
（3）测试目的：
对316L不锈钢原材料的化学成分、非金属夹杂物、晶粒度及相关冶金质量进行检测评价，判定材料是否满足半导体高纯及超高纯气体、液体输送系统的材料质量要求
（4）适用对象：
用于半导体制造设备及工艺介质输送系统的316L不锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管材
（5）相关联标准：
ASTM E45（钢中非金属夹杂物含量测定）、ASTM E112（金属平均晶粒度测定）、ASTM A262（奥氏体不锈钢晶间腐蚀敏感性评价）、ASTM A276（不锈钢棒材和型材规范）、ASTM A240（不锈钢板材规范）、ASTM A269（奥氏体不锈钢管材规范）
（6）主要应用行业：
半导体制造、超高纯气体输送系统、高纯化学品输送系统、高纯不锈钢冶炼及精密零部件制造行业
意义：