超高纯不锈钢（如316LVV）是半导体制造装备中的关键结构材料，其耐腐蚀性能直接关系到工艺腔体的颗粒控制、设备寿命以及产品良率。近年来，随着半导体产业向更先进工艺节点发展，以及超高纯材料的国产自主研发，针对该类材料及其零部件产品的耐蚀性评价与标准化测试需求显著增加。
在此背景下，我实验室组织“半导体设备超纯不锈钢SEMI测定标准研讨”主题学术研讨会。本次研讨会特邀来自不锈钢制造、半导体设备领域的多位毕业生重返实验室，包括两位宝钢高级工程师（2015届硕士、2021届硕士）、某半导体沉积设备制造单位和某半导体光刻设备制造单位（2019届博士、2021届硕士）。会议旨在深入探讨超纯不锈钢在半导体设备中的腐蚀行为精细化评价方法和相关标准，促进产学研用深度融合，助力国内高纯材料测试评价的规范化与国际化。
与会嘉宾深入研讨了SEMI F77（临界点蚀温度，CPT）和SEMI F120（临界点蚀电位，CPV）等标准的技术要求，并对比了其与现行ISO、ASTM标准的异同。强调SEMI标准更侧重于半导体工业超纯环境中的材料性能评价，具有更强的行业针对性。
会议中，课题组结合典型实际案例，系统分析了测试过程中出现的数据变异性及测量难点：
① 针对已合作单位提供的十余种超高纯不锈钢材料，实验室严格按照 SEMI F77 等标准成功完成了系统测量。 对于测试中遇到的缝隙腐蚀等挑战，团队开发了多种新型封样技术，有效提升了测量的准确性与重复性，为材料评价提供了可靠技术支撑。
② 针对半导体设备中的电抛光（EP）管件、阀件、焊接件等在复杂苛刻环境 （如含卤素介质、酸性条件、以及气-电-化学多场耦合）下的腐蚀行为，实验室就提升现行 CPT/CPV 方法的重复性、 以及利用新评价技术恒电位脉冲（PPT）等，采取了多项新措施。
腐蚀实验室将继续秉持“问题导向、产研协同”的理念，持续推进超纯不锈钢材料在半导体、新能源等高端领域的腐蚀精细化评价与防护研究，助力中国制造在高技术场景中的材料自主保障与标准话语权提升。
Updated on Aug. 31, 2025. Edited by 冉国永